experimentelle Realisierung
Optimierungsziel
PEEM
Polarisations-former
45.0048.3151.6354.9458.2561.5664.8868.1971.5074.8178.1381.4484.7588.0691.3894.6998.00101.3104.6107.9111.3114.6117.9121.2124.5127.8131.1134.4137.8141.1144.4147.7151.0
09.03.2006, Optim
ierung 002, Generation 13, R
eferenzbildA
ufnahme w
ährend der Optim
ierung, 3sec Belichtung
adaptive Nahfeldkontrolle
silver nanostarsdiameter ~ 180 nminner gap ~ 70 nmouter gap ~ 10 nm
SEM
45.0048.3151.6354.9458.2561.5664.8868.1971.5074.8178.1381.4484.7588.0691.3894.6998.00101.3104.6107.9111.3114.6117.9121.2124.5127.8131.1134.4137.8141.1144.4147.7151.0
09.03.2006, Optim
ierung 002, Generation 13, R
eferenzbildA
ufnahme w
ährend der Optim
ierung, 3sec Belichtung200 nm200 nm
PEEM, h= 1.5 eV
Ziel: Kontrolle der lokalen Nahfeldverteilung Auflösung: sub-100 nm Polarisation des Fernfeldes adaptiv - rückgekoppelt
Kooperation mit M. Bauer, T. Brixner, F. Javier García de Abajo, W. Pfeiffer
Simulation des Nahfeldes