Vdma Oberflaechentechnik Industrielle Plasma Oberflaechentechnik Broschuere 2007

3. Auflage 20073rd Edition 2007

Oberflchentechnik

Industrielle Plasma-Oberflchentechnik

Industrial Plasma-Surface Treatment

128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4 26.07.2007 10:42 Uhr Seite 2

Industrielle Plasma-Oberflchentechnik

Industrial Plasma-Surface Treatment

Oberflchentechnik


Vorwort/Preface 4

Einfhrung/Introduction 6

Unternehmensprofile/Company profiles

CEMECON AG 14

ELTRO GMBH 16

PLATEG GMBH 18

PLATIT AG 20

PROBEAM 22

SULZER METAPLAS 24

VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GMBH 26

Lieferverzeichnis/List of Suppliers 28

Adressenverzeichnis/List of addresses 30

Nachwort/Epilogue 32

Impressum/Imprint 33

ContentsInhalt


4 VORWORT/PREFACE

Plasma-Oberflchentechnik: Noch Innovation oder schon Traditionin der Industrie?

Die Wiege der Plasma-Oberflchentechnologie

stand in Deutschland ebenso wie die erste konkrete

Anwendung, das Plasmanitrieren zum Verschlei-

und Korrosionsschutz an Maschinenteilen. Hier wird

sie auch seit vielen Jahren erfolgreich im industriellen

Mastab genutzt. Dieses traditionelle Verfahren

bietet immer noch groes Innovationspotenzial.

Die jngeren Beschichtungsverfahren wie PVD,

PACVD, PECVD, Plasma-Polymerisation etc. haben zu

Innovationsschben in beinahe allen industriellen

Bereichen beigetragen und sind somit auch hier

nicht mehr wegzudenken.

Auffllig war in der langjhrigen Geschichte der

Plasma-Oberflchentechniken, dass die bedeu-

tendsten Entwicklungssprnge von kleineren und

Plasma surface technology: Still an innovation or alreadya tradition in industry?

Plasma surface technology emerged in Germany

with its first real application, plasma-nitriding

for wear and corrosion protection of machine

parts. It has been successfully applied on an

industrial scale for many years. This traditional

process still offers considerable potential for

innovation.

Newer coating processes such as PVD, PACVD,

PECVD, plasma polymerisation etc. have increased

the innovative power of almost all kinds of industry

and can therefore no longer be ignored.

It is remarkable in the long history of plasma

surface technology, that the most significant

developments took place in small and young

PrefaceVorwort


PREFACE/VORWORT 5

companies. Even today, these procedures are

mostly offered and developed by small and

medium-sized companies. German companies

and research institutes are still world leaders in

this area, although other countries have made

up considerable ground. Due to this strong

national and international position and importance,

forming the Industrial Plasma Surface Technology

working group within VDMA was the only logical

conclusion.

The aim of this brochure is to provide information

on high-level material processing and plant

engineering applications. The important part of

the German tool manufacture and mechanical

engineering industry was stabilised by modern

plasma technologies. Technologies like these will

be more and more required to keep up with

international technical contest and remain

competitive.

Also other branches of industry already recognised

the importance of plasma surface technologies,

and further will follow.

The companies introduced in this brochure

contributed significantly to the development of

plasma surface technology and will continue to

take part in the development of the high-tech

site, which is Germany.

The exemplary and successful route:

From tradition to Innovation.

jungen Firmen ausgegangen sind. Auch heute

werden diese Verfahren grtenteils durch kleinere

und mittelstndische Unternehmen angeboten und

fortentwickelt. So sind deutsche Firmen und

Forschungseinrichtungen immer noch weltweit

fhrend auf diesem Gebiet, auch wenn internatio-

nal erheblich aufgeholt wurde. Wegen dieser

wesentlichen nationalen und internationalen

Stellung und Bedeutung war es nur konsequent, die

Arbeitsgruppe Industrielle Plasma-Oberflchentech-

nik im VDMA zu bilden.

Die Broschre soll dazu beitragen, die auf hohem

Niveau vorhandenen Anwendungen der Verfah-

rens- und Anlagentechniken zu vermitteln. Die

bedeutende Rolle des deutschen Werkzeug- und

Maschinenbaus konnte durch moderne Plasma-

techniken gefestigt werden. In Zukunft werden

solche Techniken zunehmend bentigt, um im

internationalen technischen Wettlauf mithalten

zu knnen und wettbewerbsfhig zu bleiben.

Auch andere Industriezweige haben bereits

erkannt, wie wichtig fr sie die Plasma-Ober-

flchentechnologie ist weitere werden sicher

noch hinzukommen.

Die in dieser Broschre vorgestellten Unterneh-

men haben entscheidende Beitrge zur Entwick-

lung der Plasma-Oberflchentechnologien

gleistet und werden auch in Zukunft ihren Anteil

an der Entwicklung des Hochtechnologie-Stand-

ortes Deutschland haben.

Der beispielhafte und erfolgreiche Weg:

Aus Tradition Innovationen!


6 EINFHRUNG/INTRODUCTION

In der Fachabteilung Oberflchentechnik im VDMA

organisierte Anbieter von Komponenten, Anlagen

und Dienstleistungen der Industriellen Plasma-

Oberflchentechnik dokumentieren mit weiteren

Anwendungsbeispielen in diesem Leitfaden ihr

Know-how. Sie informieren ber die Bandbreite

ihrer Erzeugnisse und deren Einsatzmglichkeiten.

Die Anbieter Industrieller Plasma-Oberflchentech-

nik empfehlen sich als kompetente Ansprechpartner

und Entscheidungshelfer fr Einkufer, Fertigungs-

planer sowie Projektleiter bei der Auswahl von

Produkten, Verfahrenstechniken und fertigungs-

integrierten Problemlsungen.

Faszinierende Vielfalt

Unter den modernen Technologien hat sich die

Industrielle Plasma-Oberflchentechnik zu einem

bedeutenden Universalwerkzeug entwickelt.

In schon faszinierender Weise findet sie Anwendung

in so unterschiedlichen Bereichen wie der Herstel-

lung von Datentrgern und Anzeigesystemen fr

die Kommunikationstechnik der biokompatiblen

Beschichtung medizinischer Implantate, der Verg-

tung optischer Komponenten und vor allem beim

Verschlei- und Korrosionsschutz an Werkzeugen

und Maschinenbauteilen.

Hochbelastbare dnne Schichten haben heute fr

smtliche Maschinenbaubranchen einen hohen

Nutzwert.

Die moderne Industrie verlangt zunehmend

schnellere Prozesse, Leichtbaukonstruktionen und

Oberflchen machen Produkte erfolgreicherSurface treatment makes products successful

Suppliers of components, plants and services of

Industrial Plasma-Surface Technology, organised

within VDMA, set out their expertise with further

examples of applications of this guide. They

provide information on the range of products

and their possible applications. The suppliers of

Industrial Plasma-Surface Treatment Technology

commend themselves as competent contacts

and advisors in decisions for purchasers, production

planners and project managers in selecting

products, processes and production-integrated

solutions to problems.

Fascinating diversity

Among modern technologies, industrial surface

treatment technology has developed into an

important universal tool. Quite amazingly, it has

found appliances in quite diverse areas such as

the manufacture of data carriers and display

systems for information technology, biocompatible

coating of medical implants, surface treatment

of optical components and most notably in wear

and corrosion protection on tools and machine

components.

Today highly resistant thin coatings are highly

useful for almost all machine engineering sectors.

Modern industry increasingly demands more

rapid processes, light construction and compact

construction methods. At the same time, high

quality demands and environmental require-

ments must be met. With this complex set of

requirements, materials soon reach their limits.


INTRODUCTION/EINFHRUNG 7

Current material and production technology

therefore increasingly rests on the key function

of surfaces.

The surface does it!

Constantly increasing demands on the performance

of products and increasing competition demand

separate independent optimisation of basic

material and surface. In selecting the basic

material, its specific weight, formability or optical

transparency and not least price, for example,

play a deciding role. More is required of the surface.

Tools and highly stressed machine components

must withstand tribologic stresses, while

architectural glass should reflect heat radiation

and in headlights and lights reflect visible light.

Surfaces should protect metals from corrosion,

make plastics scratchproof, on one occasion

wettable, on other not easily wettable, or even

protect the inside of plastic casings against

electromagnetic fields. Medical implants must

be biocompatible on the surface andwatches,

jewellery and many other everyday objects

simply need their surface to look good.

Microelectronics and high-grade data carriers

would be unthinkable without such thin films

technologies. Plasma-based surface treatment

technology makes an important contribution in

all these fields. In many cases, it offers the only

possibility to make a decisive contribution to

improving the product. The range of its applica-

tions means it really is a technology which spans

all areas.

kompakte Bauweisen. Gleichzeitig sind hohe

Qualittsansprche und Umweltschutzanforde-

rungen zu erfllen. Bei diesem komplexen

Anforderungsprofil geraten Werkstoffe schnell

an ihre Grenzen. Die heutige Werkstoff- und

Fertigungstechnik sttzt sich daher immer mehr

auf die Schlsselfunktionen von Oberflchen.

Die Oberflche machts!

Stndig steigende Anforderungen an die Leistungs-

fhigkeit von Produkten und zunehmender Wettbe-

werb verlangen, Grundwerkstoff und Oberflche

unabhngig voneinander zu optimieren. Bei der

Wahl des Grundswerkstoffes spielen beispielsweise

sein spezifisches Gewicht, seine Formbarkeit oder

etwa optische Transparenz und nicht zuletzt der

Preis eine entscheidende Rolle. Von der Oberflche

des Endprodukts wird mehr verlangt:

Bei Werkzeugen und hochbelasteten Maschinen-

bauteilen muss sie tribologischen Beanspruchungen

standhalten, bei Architekturglsern soll sie Wrme-

strahlen und in Scheinwerfern und Leuchten sicht-

bares Licht reflektieren. Metalle soll sie vor Korrosion

schtzen, Kunststoffe soll sie kratzfest, mal benetz-

bar, ein anderes Mal schwer benetzbar machen oder

auch das Innere von Kunststoffgehusen gegen

elektromagnetische Felder abschirmen.

Medizinische Implantate mssen an der Oberflche

biokompatibel sein, und Uhren, Schmuck sowie viele

andere Gegenstnde des Alltags darf ihre Ober-

flche einfach nur verschnern. Mikroelektronik

und hochleistungsfhige Datentrger wren ohne

Schichttechniken nicht denkbar. Plasmageschtzte



Oberflchentechnik leistet auf all diesen Feldern

einen wichtigen Beitrag. In vielen Fllen bietet sie

die einzige Mglichkeit zur entscheidenden Produkt-

verbesserung. Die Bandbreite ihrer Einsatzbereiche

lsst sie zu einer Querschnittstechnologie ersten

Ranges werden.

Was aber ist ein Plasma?

Fr ein faszinierendes Medium, das nicht so recht

ins Schema der traditionellen Aggregatzustnde

fest, flssig oder gasfrmig passte, suchten Ende

der 20er Jahre Naturwissenschaftler nach einem

Namen. Wie so oft wurde man in der Sprache der

alten Griechen fndig. Plasma das griechische

Wort fr Gebilde bezeichnet seitdem elektrisch

leitende Gase. Anders als normale Gase bestehen

sie nicht nur aus neutralen Atomen und Moleklen,

sondern im Wesentlichen aus negativen und positi-

ven Ladungstrgern wie Elektronen und angeregten

Ionen. Ihnen verdanken Plasmen ihre hochreaktiven

Eigenschaften und die Leuchterscheinungen, die sie

inzwischen zu einem vielseitig einsetzbaren Werk-

zeug quer durch alle industriellen Anwendungs-

felder machen.

Wie man Plasmen erzeugt, demonstrieren uns seit

jeher Blitze elektronische Entladungen in der

Gasatmosphre der Erde. Beim technischen Einsatz

von Gasentladungen soll es natrlich nicht immer

so hei hergehen. Im prominentesten Beispiel, bei

der Neonrhre, nutzt man seit langem nur die

Leuchterscheinung von Plasmen bei gleichzeitig

geringer Wrmeentwicklung. Heute hat die Indu-

strie gelernt, das Werkzeug Plasma wirkungsvoll zur

But what is plasma?

At the end of the 1920s scientists were looking

for a name for a fascinating medium which did

not quite fit in the traditional scheme of traditional

aggregate states, solid, liquid or gaseous. As so

often, they found one in the language of the

ancient Greeks. Plasma the Greek word for

a moulded thing, since describes electrically

conductive gasses. In contrast to normal gases,

they not only consist of neutral atoms and

molecules, but essentially of negative and

positive charge carriers such as electrons and

excited ions. It is due to this, that plasmas are

highly reactive and luminescent, which has

made them have diverse applications as a tool

throughout all fields of industrial applications.

How plasmas are created has been shown

since time immemorial by lightning, electrical

discharges in the Earths atmosphere. In the

technical application of gas discharges, things

should of course not always be so hot. In the

most salient example, the neon tube, we have

for a long time been using the luminescence of

plasmas with little heat development. Today,

industry has learnt to use the tool, plasma,

effectively for changing surface properties.

With cold low-pressure plasmas, even tempera-

ture-sensitive plastics can be easily treated.

Depending on the choice of process gases, the

highly reactive effect of plasmas can be used for

cleaning, grease removal and erosion as well as

for precipitation of functional, thin layers. An

overview of the structure of plants and processes

of Industrial Plasma Surface Treatment Technologies



provided by information sheet VDMA 24385.

Good economic conditions for modern coating

systems.

Good economic conditions for modern coating systems

Due to the ongoing expansion of the fields of

application, the sector in Germany has in recent

years been developing at double digit growth

rates. Also for the upcoming years a further

growth of the market potential and high investment

in this technology can be well expected.

The total order value in industrial surface treat-

ment technology grow 14% in 2006 after the

boom year 2005. VDMA Surface Treatment

estimates the total turnover of the branch

between 1 or 1.2 billion Euro for machinery

components and coating services.

Economic driver in 2006 has been the domestic

market with a growth of 23%. The foreign trade

of the branch could grow 5% in 2006 after very

high increase rates in 2005. Large Area-applications

account for 47% of the total order quantity in

2006.

0

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220

1995 1996 1997 1998 1999 2000 2001* 2002 2003 2004 2005 2006 S

* Strukturbruch in der Erhebung S Prognose

Index 2000 = 100

Industrielle Plasma Oberflchentechnik AuftragseingangOrders receives in Industrial Plasma Surface Treatment

nderung der Oberflcheneigenschaften einzu-

setzen. Mit kalten Niederdruckplasmen etwa lassen

sich sogar temperaturempfindliche Kunststoffe

problemlos vergten. Je nach Wahl der Prozessgase

kann die hochreaktive Wirkung von Plasmen sowohl

zur Reinigung, Entfettung und Abtragung als auch

zur Abscheidung funktionaler dnner Schichten

eingesetzt werden. Eine bersicht ber Aufbau von

Anlagen und Verfahren der Industriellen Plasma-

Oberflchentechnik bietet das Einheitsblatt VDMA

24385.

Gute Konjunktur fr moderne Schichtsysteme

Durch die permanente Ausweitung der Anwen-

dungsbereiche und wachsender Durchdringung

etablierter Mrkte entwickelte sich die Branche in

den letzten Jahren mit durchschnittlich zweistel-

ligen Zuwachsraten. Auch in den nchsten Jahren

ist von hohen Investitionen in diese Technologie

und einem steigenden Marktpotential auszugehen.

Der Auftragseingang in der industriellen Plasma-

Oberflchentechnik konnte nach dem Boomjahr

2005 nochmals um 14% wachsen. Insgesamt

schtzt der Fachverband das Umsatzvolumen der

Branche auf 1,0-1,2 Mrd. Euro fr Anlagen, Kompo-



* vorlufig/temporary

DienstleistungService

32%

KomponentenComponents

17%

GesamtanlagenWhole Plants

51%

VerschleischutzWear protection

44%

GroflchigLarge Area

47%

SonstigeOthers

8%

DekorationDecoration

1%

nach Anwendungsbereichennach Produkten und Dienstleistungenafter field of applicationafter Products and Services

Industrielle Plasma Oberflchentechnik Auftragseingang 2006*Orders receives in Industrial Plasma Surface Treatment 2006*

nenten und Lohnbeschichtung. Wachstumsmotor

im Jahr 2006 war das Inlandsgeschft, das um 23%

wachsen konnte. Das Auslandsgeschft konnte

2006 nach sehr hohen Zuwachsraten im Jahr 2005

nochmals eine Steigerung 5% verbuchen.

Auf Large Area-Anwendungen entfielen 47% der

Auftragseingnge im Jahr 2006. Large Area

Anwendungen fanden in den letzten Jahren

starke Verbreitung aufgrund hoher Investitionen

in Produktionsanlagen fr Flachbildschirme und

Displays. Daneben spielt die Beschichtung von

Architekturglas (Wrmeschutzverglasung) eine

wichtige Rolle.

Auf Verschleischutzanwendungen entfiel ein

Anteil von 44%.

Viele Anwender, die die Vorteile und Leistungsfhig-

keit moderner Schichtsysteme nutzen mchten,

ziehen zunchst die Oberflchenbehandlung ihrer

Produkte im Lohnverfahren vor, das kompetente

Large Area-applications experienced higher

distribution over the past years due to the high

investments in production machinery for flat

panels and displays. Besides this, coating of glass

for architecture (heat-protection) plays an

important role. Applications for wear-protecting

hold their total order volume of 44%.

Many users who want to utilise the benefits and

capabilities of modern thin films, favour at first

the surface treatment of their products by job

coaters. This is offered also by competent

machinery and plant manufacturers of this

branch. According to a survey of VDMA the

branch accounted for round about 50% of its

total turnover in the plant and machinery sector

in 2006. Job coating and other services account

for approximately 1/3, whereas the business

with components covers around 17% of the total

turnover. Especially the segment of job coating

could significantly grow in 2006.



Anlagenbauer ebenfalls mit anbieten. Nach VDMA-

Erhebungen erzielte die Branche im Jahr 2006 rund

die Hlfte ihrer Gesamtumstze im Anlagenbau.

Auf Lohnbeschichtung und andere Dienstleistungen

entfllt knapp ein Drittel, whrend das Geschft mit

Komponenten etwa 17% der Umstze ausmacht.

Insbesondere das Segment Lohnbeschichtung

konnte im Jahr 2006 berdurchschnittlich zulegen.

Im breit gespannten Spektrum der Oberflchentech-

niken haben sich plasmagesttzte Verfahren wie

z. B. im Verschleischutz als feste Gre etabliert.

Der Erfolg misst sich aber auch im Erschlieen

immer neuer Anwendungsfelder und dem Konkur-

rieren anderen Verfahren der Oberflchentechnik

auf deren angestammten Mrkten, wie dies im Falle

der Galvanotechnik geschieht. Die Technologie hlt

auerdem verstrkt Einzug in Herstellung dekorati-

ver Schichten. Auch aus der Automobilindustrie sind

die Verfahren der industriellen Plasma-Oberflchen-

technik nicht mehr wegzudenken.

Schonung der Umwelt bringt Vorteile

Fortschritte bei der Verfahrensentwicklung und

neue Schichtsysteme haben das Plasma vorange-

bracht. Gegenber den galvanischen Verfahren

haben sie jedoch nicht nur aus eigener Kraft an

Boden gutgemacht. Flankenschutz erhielt die

Plasma-Oberflchentechnik vor allem durch die

Weiterentwicklung der Umweltschutzvorschriften,

die etablierte Verfahren wie die Galvanik oder auch

manche Bereiche der Lackiertechnik zunehmend

verteuern.

Kostenvorteile ergeben sich demnach durch gerin-

gere Umweltbelastung der Plasmaprozesse, die

lediglich in einer elektrisch geladenen Gasatmos-

phre stattfinden und so weder zur Abfall- noch zur

Abwasserproblematik beitragen.

Protection of the environmentbrings advantages

Progress in process development and new thin

films systems have made plasma more impor-

tant. Compared to the galvanic processes, they

have not only gained ground by their own efforts.

Further development of environment protection

regulations in particular has supported and

promoted plasma surface treatment technology,

since these regulations have made established

processes such as galvanising or even many

areas of paint technology more expensive.

Accordingly, cost advantages result from less

environmental damage from plasma processes,

which only take place in an electrically charged

atmosphere and thus contribute neither to

waste or waste water problems.



Anwendungspotenziale in verschie-densten Industriebereichen

Vielversprechende Perspektiven bieten sich den

neuen Verfahren in einer ganzen Reihe von Anwen-

dungsfeldern. Beim Automobil sind dnne Schich-

ten in unterschiedlichsten Funktionen realisiert.

Dazu gehrt z. B. der Verschleischutz hochbelaste-

ter Bauteile von Verbrennungsmotoren, Getrieben,

elektrischen Antriebselementen, Pumpen, Gestn-

gen und Fahrwerksteilen.

Reflektoren in Beleuchtungseinrichtungen erhalten

hochwertige Verspiegelungen. Kunststoffteile im

Innenraum bentigen kratzfeste Beschichtungen,

und an der Karosserie eingesetzte Kunststoffe

erhalten durch Plasmaaktivierung eine wirksame

Haftvermittlung fr die Lackierung.

Auch in der Medizin nehmen moderne Beschich-

tungstechniken stetig an Bedeutung zu. Durch die

Aufbringung biokompatibler Schichten auf Implan-

taten knnen deren Grundwerkstoffe eher auf ihre

mechanische Beanspruchung abgestimmt werden,

anstatt gleichzeitig gewebefreundlich sein zu

mssen. Fr komplexe Kathetertechnik und Systeme

fr minimal-invasive Operationsmethoden sind

reibungsmindernde Schichten notwendig. Die

Oberflcheneigenschaften aller Arten von in der

Medizin eingesetzten Behltnissen fr Flssigkeiten

knnen beliebig hydrophil oder hydrophob ausge-

stattet werden.

Neben den genannten Beispielen existiert eine Flle

weiterer potenzieller Anwenderbranchen mit zum

Teil erheblichem Bedarf an Wissenstransfer. Eine

Analyse der bisherigen Nutzungstiefe durchge-

fhrt durch die Arbeitsgruppe Industrielle Plasma-

Oberflchentechnik im VDMA wird einen syste-

matischen Dialog mit den Anbietern ermglichen.

Vorrangige Zielgruppen werden Maschinenbau-

branchen und die Automobilzulieferkette sein.

Applications potential in varioussectors of industry

There are promising prospects for

the new processes in a whole series of fields of

applications. In the car, there are thin coatings in

the most diverse functions. This includes, for

example, wear protection of highly stressed

components of combustion engines, gears,

electrical drive elements, pumps, linkages and

chassis components. Reflector in lighting sys-

tems have high quality reflective coats. Plastic

parts in the interior require scratchproof coat-

ings and plastics used on bodywork obtain

effective adhesion capacity for paint by means of

plasma activation.

In medicine, too, modern coating technologies

are steadily gaining importance. By applying

biocompatible layers on implants, their base

materials can be more geared to mechanical

stress instead of needing to be tissue-friendly at

the same time. For complex catheter technology

and systems for minimally invasive operation

methods, friction-reducing coatings are required.

The surface properties of all types of liquid

containers employed in medicine can, as necessary,

be provided hydrophilic or hydrophobic.

Apart from the examples mentioned, there are

many more potential applications with, to some

extent, considerable demand for transfer of

knowledge. Analysis of the extent of use, under-

taken by the working group, Industrial Plasma

Surface Treatment in VDMA, will allow systematic

dialogue with suppliers. The preferred target

groups will be machine constructions and auto-

motive supplier chain sectors.



Herausforderungen fr die Zukunft

Bei den Schlsseltechnologien von heute und der

Zukunft spielen die Funktionen dnner Schichten

und damit Plasmaprozesse ebenfalls eine entschei-

dende Rolle. In der Kommunikations- und Informati-

onstechnik betrifft es die Weiterentwicklung von

Flachbildschirmen, die Kapazittserhhung von

Speichermedien und selbstverstndlich die weitere

Miniaturisierung elektronischer Bauelemente und

Strukturen. In der Energietechnik kommen z. B.

Solarzelle und auch Brennstoffzelle nicht ohne

spezifische Oberflchenfunktionen ihrer wichtigen

Konstruktionselemente aus.

Die Nachfrage nach schnelleren Prozessen wird

auch fr die Anbieter Industrieller Plasma-Ober-

flchentechnik eine der wesentlichen technologi-

schen Herausforderungen sein. Um das Tempo von

Produktionsverfahren erhhen zu knnen, muss die

Oberflchentechnik zurck in die laufende Ferti-

gung. Unter der Voraussetzung hoher Stckzahlen

sind schnelle Einzelteilbeschichtungen wie in der

CD-Herstellung realisiert anstatt Batch-Verfah-

ren eine Mglichkeit fr eine Integration in die

Fertigungskette. Auch bei der Lohnbeschichtung

helfen automatische Prozesse und Straffung der

Logistik, Kosten zu sparen und schneller zu werden.

Challenges for the future

In todays and future key technologies, the

function of thin coatings and thus plasma

processes also play a deciding role. In commu-

nications and information technology, it affects

the further development of flat screens, increas-

ing the capacity of storage media and of course

the further miniaturisation of electronic compo-

nents and structures. In power engineering, for

example, solar cells and even fuel cells cannot

do without specific surface functions of their

important structural elements. The demand

for more rapid processes will also be one of

the main challenges for suppliers of Industrial

Plasma Surface Treatment. To speed up produc-

tion processes, surface treatment must return

continuous production. Provided the numbers

of units are high, rapid single part coatings,

as realised in CD manufacture, instead of batch

processes, may be a possibility for integration

into the production chain. In job coating too,

automated processes and tightening up logistics

help to save costs and speed things up.


14 CEMECON AG

CemeCon ist mit weltweit

350 Mitarbeitern, davon

240 am Standort Wrselen

bei Aachen, eines der erfolg-

reichsten Unternehmen

mit einem umfassenden

Leistungsspektrum rund

um die Beschichtung von

Zerspanwerkzeugen und

seit 20 Jahren technologi-

scher Vorreiter in diesem

Segment. Am Standort

Wrselen betreibt CemeCon

das grte Lohnbeschich-

tungszentrum Europas und

ist darber hinaus in den

USA, China, Skandinavien

und Tschechien mit Unter-

nehmens- und Produktions-

sttten vertreten.

With 350 employees

worldwide, and

240 of them

at the site

in Wrselen

near Aachen,

Germany,

CemeCon is

one of the

most successful

companies in the

cutting-tool coating sector

and also offers a comprehen-

sive range of services. At the

plant in Wrselen, CemeCon

operates Europe's largest

job coating center. It is also

represented with corporate

and production sites in the

US, China, Scandinavia and

the Czech Republic.

Der Bedarf an Hochleistungsbeschichtun-

gen fr die Zerspanungstechnik steigt seit

Jahren enorm: Beschichtungen erhhen

die Leistung von Werkzeugen bei nahezu

allen Zerspananwendungen und ermgli-

chen dadurch erst die wirtschaftliche

Bearbeitung modernster Materialien wie

beispielsweise kohlefaserverstrkter

Kunststoffe, Magnesium oder Aluminium,

die in der Luft- und Raumfahrtindustrie oder dem

Automobilbau bereits weit verbreitet sind. Ein

Meilenstein auf diesem Weg war die Entwicklung

der glatten Diamantschichten, die CemeCon zum

Weltmarktfhrer bei Diamantbeschichtungen

machte. Mittlerweile sind auch in der Leiterplatten-

fertigung mit CemeCon-Diamantschichten versehe-

ne Przisionswerkzeuge nicht mehr wegzudenken.

Bei modernen Zerspanaufgaben wie der Hartbear-

beitung macht CemeCon mit den Supernitriden der

zweiten Generation dem Wettbewerb harte Vorga-

ben: Die ultraglatten Schichten der SN2/HSN2-Klasse

liefern beste Zerspanergebnisse in den unterschied-

lichsten Materialien bei hervorragenden Ober-

The need for high-performance coatings for

cutting technology has increased enormously

over the past several years. Coatings increase

the performance of tools for virtually all cutting

applications and make the economical machining

of modern materials, such as glass-fiber reinforced

plastics, magnesium or aluminum already

standard in the aerospace or automotive industry,

possible in the first place. A milestone along this

road was the development of smooth diamond

coatings, which made CemeCon the world's market

leader in this sector. Precision tools with CemeCon

diamond coatings have meanwhile also become

a permanent technology in PCB production.

For modern cutting tasks like hard machining,

CemeCon is meanwhile setting standards for

the competition with its second-generation

Supernitrides. The ultra-smooth coatings of

the SN2/HSN2 group supply out-standing

machining results in a very broad range of

materials with excellent surface qualities and

an extremely long tool life.

Individuelle Beschichtungen fr hchste Performance


CEMECON AG 15

Weitere Informationen:Additional information:

CemeCon AGAdenauerstrae 20 A452146 WrselenGermany

Phone +49(0)24 05-44 [email protected]

Individual Coatings for Top Performance

For some applications, not only metals need to

be coated, but also non-conductive materials like

ceramic, or non-conductive coating materials are

required. CemeCon also offers the right solutions

in cases like these. On request the coating expert

will develop individual coatings together with

the customer that are optimally customized to

the respective applications.

The heart of the CemeCon system technology

and the source of the individually adaptable

coating solutions is the proven CC800/9 coating

system. It offers all variations from the smallest

production all the way up to complete production

lines. And with the CC800/9 JET, CemeCon

offers an inexpensive entry-level product for

in-house coating. Economical coating is possible

even with small filling quantities. And thanks to

fast, low-cost retrofitting of the coating chambers,

it can also be upgraded to the XL format.

flchengten und extremer Haltbarkeit.

Fr manche Anwendungen mssen nicht nur

Hartmetalle und HSS beschichtet werden, son-

dern auch nichtleitende Materialien wie Keramik

und Cermets. Auf der anderen Seite sind aber

auch nichtleitende Schichtwerkstoffe gefragt. In

solchen Fllen bietet CemeCon ebenfalls die pas-

senden Lsungen an. Auf Wunsch entwickelt das

Unternehmen individuelle Beschichtungen zu-

sammen mit dem Kunden optimal mage-

schneidert auf die jeweiligen Applikationen und

Werkzeuge.

Herzstck der CemeCon-Anlagentechnik und

Quelle der individuell anpassbaren Beschichtungs-

lsungen ist die bewhrte Beschichtungsanlage

CC800/9. Sie bietet alle Variationen von der

Kleinstproduktion bis hin zur kompletten Ferti-

gungslinie. Mit der CC800/9 JET bietet CemeCon

den kostengnstigen Einstieg fr die Inhousebe-

schichtung: Selbst bei kleinen Fllmengen ist

damit wirtschaftliches Beschichten mglich und

durch schnelle und kostengnstige Upgrades der

Beschichtungskammern lsst sie sich auch zu einer

greren Beschichtungsanlage aufrsten.


16 ELTRO GMBH

ELTROPULS steht fr innovative

Puls-Plasma-Technologie. Die

moderne Plasmawrmebehand-

lungsanlage gekennzeichnet

durch gepulste Entladung mit

variablem Tastverhltnis im

Mikrosekundenbereich und

Warmwandkonzept mit geregel-

ter Temperatur wurde vor ber

25 Jahren von ELTRO entwickelt.

Die patentierte Pulstechnik mit

Zndimpuls ermglicht erst die

wirtschaftlichen Behandlungen

kompliziertester Geometrien

und dichter Chargen mit eng-

sten Toleranzen.

ELTROPULS means innovative

pulsed plasma technology. The

modern plasma heat treatment

unit caracterized by a pulsed

discharge with a variable duty

cycle in the range of micro-

seconds and a hot wall concept

with controlled temperature

has been developed over 25

years by ELTRO. It is the patented

pulse technology with an ignition

pulse that allows profitable

treatments of the most complex

geometries and dense loads

with the narrowest tolerances.

In enger Zusammenarbeit mit ihren Kunden liefert

ELTRO Knowhow sowohl fr Standard- aber auch

fr hochkomplexe automatisierte Serienanwen-

dungen mit Integration in die Fertigung mit Takt-

zeiten von z.B. < 0,5 s / Teil.

Das Angebot beinhaltet Hauben- und Schachtfen

und reicht von Einzelanlagen bis hin zu komplett

automatisierten Fertigungslinien, die in die Pro-

duktion problemlos integriert werden knnen. Die

Eltro GmbH hat sich als kompetenter Hersteller

von Oberflchenbehandlungsanlagen fr namhaf-

te Firmen der Automobilindustrie und des Maschi-

nenbaues etabliert. Weitere Geschftsfelder sind

der Flugzeugbau, die Kunststoffindustrie, For-

schungslabore und der Rennsport, insbesondere

die Formel 1. Die Tochtergesellschaften in Farn-

borough (England), in Oxford (USA) und in Chem-

nitz, die ber eigene Lohnhrtereien verfgen,

ermglichen es der Eltro GmbH weltweit Verede-

lungslsungen anzubieten.

Das ELTROPULS-Verfahren bietet zuverlssigen

Schutz gegen Verschlei, Korrosion und Ermdung

von Bauteilen und Werkzeugen.

ELTRO offers in strong collaboration with their

customers, the know how for not only standard- but

also for very complex serial applications integrated

directly into production and cycles of for example

< 0,5 s/ part.

ELTRO offers bell- and pit furnaces and the range

of furnaces varies from single furnaces to fully

automated production lines, which can be integrated

without any problem directly into manufacturing.

ELTRO has established itself as a capable manufac-

turer of surface treatment equipment for well-

ELTRO Innovativ und Kundenorientiert


ELTRO GMBH 17

ELTRO GmbHArnold-Sommerfeld-Ring 352499 BaesweilerDeutschland

Phone 02401-80970Fax [email protected]

The following processes are

offered by ELTRO:

Pulsed plasma nitriding Pulsed plasma nitrocarburising Oxidising Hard coatings Combined processes

Some of the advantages of

the ELTROPULS process are:

Reproducible, uniformnitriding results at a

maximum load size

Low costs resulting fromshort total treatment times

Enhancement of the properties by controlled

post treatment of the

nitrided layers

Decorative black appearanceand enhancement of

corrosion resistance by

post oxidation

Narrowest tolerances evenwith varying and complicated

geometry

Low distortion due to lowtreatment temperatures

Possibility of partial treatment Environmentally friendly and

minimum consumption of

resources

ELTRO innovative and customer friendlyELTROPULS-Anlagen werden in enger Zusammen-

arbeit mit dem Kunden konzipiert. Das F&E Team

der Eltro GmbH entwickelt individuelle Verfahrens-

lsungen. Ausgehend von der Analyse der Aufga-

benstellung erfolgt die Systementwicklung auf

hchstem Niveau, Prozesimulation, Profiltiefen-

analyse, REM, EDAX, 3D CAD, FEM Berechnung etc.,

wobei smtliche Subsysteme von der Eltro GmbH

entwickelt und gefertigt werden knnen. Dies gilt

sowohl fr die Software-Entwicklung als auch fr

die Fertigung elektronischer und mechanischer

Baugruppen. Vor Inbetriebnahme der Anlage beim

Kunden bietet die Eltro GmbH Schulungen der

Mitarbeiter an, um eine reibungslose Integration

der Anlagen in die Produktlinie zu gewhrleisten.

Die folgenden Verfahren werden von der Eltro

GmbH angeboten:

Puls-Plasma Nitrieren Puls-Plasma Nitrocarburieren Oxidieren Hartstoffschichten Verfahrenskombinationen

Einige der Vorteile des ELTROPULS-Verfahrens

sind:

Reproduzierbare, gleichmige Nitrierergebnissebei maximaler Chargengre

Geringe Kosten durch kurze Gesamtprozesszeiten Eigenschaftsverbesserungen durch gezielte

Nachbehandlung der Nitrierschichten

Dekoratives schwarzes Aussehen und Verbesse-rung der Korrosionsbestndigkeit durch Nachoxi-

dation

Enge Toleranzen selbst bei unterschiedlichen undkomplizierten Konturen

Verzugsarmes Verfahren durch niedrige Behand-lungstemperatur

Mglichkeit der partiellen Behandlung Umweltfreundlich und Ressourcen schonend

known companies from the automotive industry

and engine building industry. Other business areas

are aircraft construction, the plastics industry,

research laboratories and racing, especially Formula

1. The subsidiaries in Farnborough (UK), in Oxford

(USA) and in Chemnitz (Germany) who posider their

own commercial heat treatment shops allow ELTRO

the worldwide delivery of surface engineering

solutions.

The ELTROPULS process offers reliable protection

against wear, corrosion and fatigue of components

and tools.

ELTROPULS equipment is designed in strong

collaboration with the customer. The R&D Team

of ELTRO develops individual process solutions.

Starting from the analysis of the task the develop-

ment of the system is carried out at the highest

level process simulation, scanning electron

microscopy, EDAX, 3D visualization, FE Analysis

etc., whereas all subsystems can be developed and

produced by ELTRO. This applies to the development

of the software as well as to the production of

electronic and mechanical components. Before

placing the unit into operation at the customers

plant ELTRO offers training for their employees in

order to assure a smooth transition of the equipment

into the customers production line.


18 PLATEG GMBH

PlaTeG GmbH

Auf der Basis einer mehr als 25-

jhrigen Erfahrung auf dem Gebiet

der Plasma-Oberflchentechnik

werden von PlaTeG spezielle Anlagen

und -komponenten zur Plasmaober-

flchenbehandlung von Stahl und

Kunststoffteilen hergestellt und

weiterentwickelt. Ein Schwerpunkt

liegt dabei auf dem Einsatz der von

PlaTeG entwickelten PulsPlasma

Oberflchentechnik zur Erzeugung

von Verschlei- und Korrosions-

schutzschichten auf Werkzeugen

und Maschinenteilen. Die Behand-

lung von Kunststoffoberflchen im

Niederdruckplasma zur Verbesser-

ung der Lackierbarkeit, Bedruck- und

Beklebbarkeit gehrt ebenso zu den

Ttigkeitsbereichen der PlaTeG wie

auch das Reinigen von Oberflchen

mit den Mitteln der Plasmatechnik.

With the background of a 25 years

of experience special plants and

devices for the plasma surface

treatment are developed and

manufactured by PlaTeG. A main

focus of activities is concentrated

on PlaTeGs PulsPlasmasurface

technology for the production of

wear and corrosion protecting

coatings on tools and machine

parts. The pre-treatment of plastic

surfaces in a low-pressure plasma

process to improve the varnishability,

printability and bondability is

part of PlaTeGs activities as well

as the surface cleaning by the

means of surface plasma technology.

Kompetenz in Plasma Oberflchentechnologie

PulsPlasma-Nitrieren/-Nitrocarburieren zur

Erzeugung verschlei- und korrosionsbestndiger

Nitridschichten auf Bausthlen, rost- und surebe-

stndigen Edelsthlen und auf Sinterstahl

PulsPlasma-Oxidieren zur Verbesserung des

Korrosionsschutzes und der Gleiteigenschaften

von Stahloberflchen

PulsPlasma-CVD Beschichten

zur Abscheidung von Hartstoff- und DLC-

Schichten zur Verbesserung der Verschlei- und

Gleiteigenschaften von Metalloberflchen.

PulsPlasma-Feinreinigung

von Metalloberflchen.

Plasmaaktivierung/Plasmapolymerisation

zur Modifizierung von Kunststoffoberflchen

PlaTeG - Lieferprogramm

komplette Anlagen

PulsPlasma Nitrieren PulsPlasma Oxidieren PulsPlasma CVD

Competence in Plasma Surface-Technology

PulsPlasma-Nitriding/-Nitrocarburising for the

production of wear protecting and corrosion resisting

Nitride layers on normal steel, low- and higher

alloyed steel, stainless steel and sintered steels.

PulsPlasma-Oxidation for the further improvement

of corrosion resistance and slide properties of steeel

surfaces.

PulsPlasma-CVD Coating for the Deposition of Hard

Coatings like TiN, TiCN, TiAlN and DLC on tools or

components to improve properties like wear resistance,

corrosion resistance, scratch stability.

PulsPlasma-Cleaning for a fine degreasing of metal

surfaces, removal of unwanted oxide or passivation

layers.

Plasmaactivation/Plasmapolymerisation for the

modification of Polymer surfaces

PlaTeG Delivery programme

Complete plants

PulsPlasma nitriding PulsPlasma oxidation

Kompetenz in Plasma Competence in Plasma


PLATEG GMBH 19

PlaTeG GmbHIndustriestr. 1357076 SiegenGermanyPhone +49 271 7 72 41-0Fax +49 271 7 72 [email protected]

Grndungsjahr Foundation1986 / 2006

GeschftsleitungGeneral ManagerDr. Reinar Grn, Arnd Bohle

Technik/ProduktionTechnique/ProductionHans-Joachim Gnther,

Beschftigte 2006Employees 200625

PlaTeG GmbH

PulsPlasma Reinigen/-Entfetten NIEDERDRUCK Plasmaanlagen (MF, HF) zum

Plasmaentfetten und aktivieren zur Plasma-

polymerisation

Anlagenkomponeten

Komponenten fr Plasmaprozesse PulsPlasma Generatoren unipolar/bipolar Pulseinheiten fr DC-Stromversorgungen Steuereinheiten fr Pulsgeneratoren Stromdurchfhrungen Chargenauflager Vakuumbehlter aus Edelstahl Dienstleistungen

Lohn- und Versuchsbehandlungen in unserem Werk Service und Wartung Beratung, Entwicklung, SchulungAnwendungen

Plasmanitrieren/-nitrocarburieren von Stahl,Aluminium und Titan

Plasmauntersttztes CVD (PA CVD) zur Be-schichtung mit TiC, TiN...etc., DLC

Plasmareinigung/-entfettung von Metallen Plasmaentfetten und -aktivieren von Kunst-

stoffteilen

Abscheidung von Plasmapolymerschichten aufMetallen und Kunststoffen

PulsPlasma CVD PulsPlasma cleaning/degreasing LOW PRESSURE plasma

plants for plasma degreasing and activation for

deposition of Polymer coatings

Plant components

special components for plasma processes PulsPlasma generators unipolar and bipolar pulsing units for dc generators control units for pulse generators current feedthroughs load support elements vacuum vessels in stainless steelServices

customized services in our job shop service and maintenance consulting, development, teachingApplications

Plasma nitriding/-nitrocarburizing of steel Plasma assisted CVD (PA CVD) for the coating by

TiC, TiN..etc., Diamond-like-Carbon (DLC)

Plasma cleaning/-degreasing of metals Plasma degreasing and activation of plastic parts Deposition of polymer coatings on metals and

plastic parts

Verfahrensvorteile

umweltschonend, es werdenkeine toxischen Stoffe ein-

gesetzt oder erzeugt

geringer Energieverbrauch geringer Gasverbrauch niedrige Behandlungstem-

peraturen, verzugsarme

Behandlungen mglich

Integrierbarkeit der PlaTeGPulsPlasma-Anlagentechnik

direkt in Fertigungslinien

Process advantages

pollution free, no toxicmedia will be used or

produced

low energy consumption low gas consumption low treatment temperatures low distorsion of work

pieces

PlaTeGs PulsPlasma-Technique is easy to integrate

into production lines


20 PLATIT AG

Kernkompetenz: Entwicklung und Produktion von

high-tech PVD-Beschichtungsanlagen & Schichten

1. Selbststndigkeit Unabhngigkeit von Konzernen

2. Mutterhaus in der Schweiz Tradition, Image,

Infrastruktur, Finanz und Steuersystem

3. Weltweit verteilte Intelligenz Globale Kooperati-

on mit Instituten, Beschichtern und Anwendern

4. Flache, schlanke Firmenstruktur Keine Hierar-

chie, Schwerpunkt auf Entwicklung, nicht auf

Logistik

5. Teamgeist Innovation und Leistung zhlt,

nicht Herkunft und Krawatte

6. Ausgewogene Vermarktung ber Lnder und

Kontinente, Hauptkunden; KMUs Unabhn-

gigkeit von Grosskunden

7. Blauer Ozean Strategie Produkte und Mrkte

bevor und ohne Konkurrenz

neue Schicht jedes Jahr neue Anlage jedes 2. Jahr

8. Win-Win mit Kunden Kein Rabatt, sondern Preis/

Leistung entscheidet Wettbewerbsfhigkeit

9. Keine Lohnbeschichtung Weltweit

10. Schlsselfertige Systeme zur Integration in die

Fertigung

Core competence: Development and production

of high-tech PVD coating equipment & coatings

1. Independence From large enterprises

2. Headquarters in Switzerland Tradition, image,

infrastructure, financing and tax system

3. World wide distributed intelligence Global

cooperation with institutes, suppliers, coaters

and users

4. Flat, lean company structure No hierarchies,

focus on development not on logistics

5. Team spirit Innovation and performance

count, not origin and tie

6. Balanced distribution of sales Over countries

and continents, marketing targets; SME

companies no depending on large costumers

7. Blue Ocean Strategy Products and markets

before and without competition

min. 1 new coating every year new coating unit every 2nd year

8. Win-Win with costumers Not discount but

price/performance decides competitiveness

9. No own job coating center Worldwide

10. Turnkey Systems For integration into the

production

Die 10 Gebote fr PLATIT The 10 Commandments for PLATIT

Cutting tool for form millingwith nACoblue AITiN/SiNNancomposite coating

Forming tool for stamping withUniCut: TiAICN Nanogradientcoating

Medical implants with CrTiNNanolayer coating


PLATIT AG 21

Advanced Coating Systems SWISS QUALITY Marketing, Application EngineeringR&D, Logistics, Grenchen, CH

Production R&D Service Sumperk, CZ

Production Development ServiceRiaz, CH

PLATIT AG Moosstr. 68 CH-2540 Grenchen Switzerland Phone +41 (32) 654 26 00 Fax +41 (32) 654 26 83 [email protected] www.platit.com

AR-Industrievertretung Lautlinger Weg 5 D-70567 StuttgartGermany Phone +49 (711) 718 76340 Fax +49 (711) 718 76344 [email protected]

Geschftsgang 1999-2006

Business flow 1999-2006

President: Erich Blsch CEO: Dr. Tibor Cselle Team: 70 (in 2007) Installationen/Installations: 170 in 27 Lndern/countries 60% Europe, 20% America, 20% Asia Gegrndet / Founded 1992

Die Flagschiffe von PLATIT: Die -Maschinen unddie Nanocomposite-Schichten

Die Industrie bentigt dedicated, der Anwen-dung angepassten Hochleistungsschichten.

Sie werden in naher Zukunft berwiegend von

In-House Systemen produziert.

Flexible Kompaktanlagen scheiden optimal dedicated Schichten, auch als Nanocomposites

auf Siliziumnitrid-Basis mit rotierenden Kathoden

ab:

LARC: LAteral Rotating Cathodes CERC: CEntral Rotating Cathodes 80; 2 LARC-Kathoden. Die erste industrielle

Anlage, fr Nanocomposites.

300; 3 LARC & 1 CERC-Kathoden, fr hch-ste Produktivitt und Flexibilitt:

Typische Zykluszeit: 4-5 Stunden Offenheit: Anwender kann beliebige Kompo-

sitionen und Eigenmarken kreieren.

Die kostengnstigen, nicht legierten Targetsschaffen ~ 200 Chargen.

Default-Kathoden-Konfiguration: Dank freipro-grammierbarer Stochiometrie, im Bereich von

Ti-Cr-Al-AlSi knnen alle Schichttypen mit

beliebiger Zusammensetzung ohne Kathoden-

wechsel abgeschieden werden.

The Flagships of PLATIT:The -Units and theNanocomposite Coatings

The industry requires high performance coatings,dedicated to the applications. In the near

future they will be mostly coated by In-House

Systems.

Flexible compact units coat optimum dedica-ted coatings as Nanocomposite in the matrix

of silicon nitride with rotating cathodes:

LARC: LAteral Rotating Cathodes CERC: CEntral Rotating Cathodes 80; 2 LARC cathodes. The first industrial

unit for Nanocomposites

300; 3 LARC & 1 CERC cathodes for hig-hest productivity and flexibility:

Typical cycle time 4-5 hours. Open system: Costumers can create their

own compositions and brands.

The cost effective, non alloyed targetsproduce ~200 batches.

Default cathode configuration: Due to thefree programmable stochiometry, in the

range of Ti-Cr-Al-AlSi, all coating types can be

deposited in any composition without cathode

exchange:

Machine parts with TiN andnACVic: nACRo+CBC AICrN/SiN+ DLC Nanocomposite coating


22 PRO-BEAM

Vor mehr als zehn Jahren

startete die pro-beam

Gruppe ihre ersten Aktivi-

tten auf dem Gebiet der

modernen Dnnschicht-

technologie und hat sich in

diesem Zeitraum zu einem

der fhrenden Lohnanbie-

ter fr kohlenstoffbasierte

Hartstoffbeschichtungen

entwickelt.

Ten years ago the pro-beam

group has started its first

activities in the field of

modern thin film technology

and is by now one of the

leading job coater for carbon

based hard materials.

Oberflchenschutz mit diadurSurface protection with diadur

This success is based on the diadur coating

system as well as the continuing revolution at

the process technology used for its production.

Depending on the technical demands of the

coating system and the case of operation a

modified RF- or a newly developed DC-Pulse-

Plasma procedure is applied.

Besides an innovative process technology modern

control systems are a major importance for coating

results with high quality and repeatability. The

automatic monitoring of the operating procedure

at any time is one of the requirements at the auto-

motive industry and also a production standard in

the QS-Certification according to TS16949. Since

non productive time will be reduced and down-

time minimized the productivity of a job coater

gets more efficient at the same time.

Nockenwelle / Camshaft

Grundlage dieses Erfolges sind unsere diadur

Schichtsysteme sowie die stndige Weiterentwick-

lung der zu ihrer Herstellung eingesetzten Verfahren.

Je nach den Erfordernissen die an die Schichtsysteme

gestellt werden und dem Einsatzgebiet, kommt ein

modifiziertes RF- oder ein neu entwickeltes DC-Puls-

Plasma Verfahren zur Anwendung. Neben einer

innovativen Verfahrenstechnik ist auch der Einsatz

moderner Steuerungsanlagen im Hinblick auf

Qualitt und Reproduzierbarkeit der Beschichtungs-

ergebnisse unverzichtbar. Die permanente berwa-

chung und Dokumentation der einzelnen Prozess-

schritte gengt nicht nur den hohen Anforderungen

einer Zertifizierung nach TS16949, wie sie in der

Automobilindustrie gefordert wird, sondern ist

notwendige Voraussetzung fr die Prozessopti-

mierung und damit zur

Erhhung der Produktivitt in

der Lohnbeschichtung.

Mit diadur als innovative Hartstoffbeschichtung

und einer, am neuesten Stand der Technik orientier-

ten Fertigung, ist probeam auch fr die Zukunft

bestens gerstet, die anspruchvollen AufgabenHochwertige KonsumgterPremium consumer goods


PRO-BEAM 23

With diadur as an innovative coating material and

a state-of-the-art production line pro-beam faces the

technical problems at the future. Simultaneously the

customers challenging requirements can be solved

in a technical as well as in an economical way. In our

Coating-Center in Planegg near Munich our highly

qualified staff members run five PACVD- (Plasma

Activated Chemical Vapour Deposition) Coaters, addi-

tionally a modern cleaning unit for preliminary clean-

ing of the parts and the essential measurement and

testing technology for the thin film characterisation

Benefits of diadur Coating

Diamond-Like Carbon (DLC) will be deposited from

the chemical gas phase on tools or components in

an environ-mentally friendly procedure. The specific

characteristic of this coating is the extreme hardness

(>2500HV), the extraordinary wear resistance and the

excellent friction properties (2500HV), der auerordentlichen

Verschleibestndigkeit und den exzellenten Gleitrei-

bungseigenschaften (

24 SULZER METAPLAS

Sulzer Metaplas - zertifiziert nach ISO/TS 16949:2002

- verfgt ber jahrzehntelange Erfahrung in der

PVD-Beschichtungstechnik und der plasmagesttzten

Wrmebehandlungstechnik. In beiden Bereichen

berzeugt das Unternehmen durch seine hohe Kom-

petenz; denn Sulzer Metaplas ist einer der weltweit

fhrenden Anlagenhersteller mit einer langjhrigen

Tradition im Systemgeschft und praxiserfahren

durch eigene Servicecenter fr Lohnbehandlung,

die die Anwendungserfahrung sichern. Shop-in-

Shop-Lsungen runden das Angebot ab. Die Sulzer

Metco ein Unternehmensbereich der Sulzer AG,

Schweiz untersttzt als Muttergesellschaft der

Sulzer Metaplas den stetigen Expansionskurs durch

ihre Finanz- und Investitionskraft.

Ob PVD-, Plasmawrmebehandlungtechnik oder

eine Kombination aus beiden die optimale Lsung

fr Ihren Anwendungsfall darstellt, bei Sulzer Metaplas

bekommen Sie alles aus einer Hand von kompe-

tenter Beratung, Planung und Schulung bis hin zur

mageschneiderten Anlagentechnik. Dabei stehen

Wirtschaftlichkeit und Qualitt fr den Kunden im

Vordergrund.

Weltweit sind viele Hunderte von Sulzer Metaplas-

Anlagen im Betrieb. Neben Anwendungen in der

Kompetenz in Plasma Oberflchentechnik

Sulzer Metaplas certified in accordance with

ISO/TS 16949:2002 has decades of experience

in the area of PVD coating technology and plasma

supported heat treatment technology. In both

areas, the company convinces through its high

level of competence; because Sulzer Metaplas is

one of the worldwide leading systems manufac-

turers, with a long tradition in the system business

and with practical experience through its own

service centres for contract treatments which

ensure the necessary application experience.

Shop-in-shop solutions complete the offerings.

The company Sulzer Metco a division of the

company Sulzer AG, Switzerland supports as

the holding company of Sulzer Metaplas the

continual expansion through its financial power

and capital investment.

Whether PVD, plasma heat treatment technology

or a combination of both represents the optimum

solution for your specific application, at Sulzer

Metaplas you get everything from a single source

from competent consulting, planning and training

up to tailor-made systems engineering. Here the

aspects of economy and quality for the customer

are at the focus. Many hundreds of Sulzer Metaplas


SULZER METAPLAS 25

Hauptsitz Headquarter

Bergisch Gladbach Am Bttcherberg 30-38 51427 Bergisch Gladbach Germany Phone +49 (0)2204/299-0Fax +49 (0)2204/299-266 [email protected]

Salzgitter Theodor-Heuss-Strae 6338228 SalzgitterGermany

HohenlockstedtDeutsch-Ordens-Strae 7 25551 HohenlockstedtGermany

Niederwrschnitz Stollberger Strae 40 09399 Niederwrschnitz Germany

WoonsocketSulzer Metaplas (US) Inc.222 Goldstein Drive Woonsocket RI 02895 USA

Shanghai Sulzer Metco Surface Technology(Shanghai) Co. Ltd. 666 Min Bei Road Minhang,Shanghai 201107 P.R.China

systems are being operated worldwide. Besides

applications in the area of research, turnkey

solutions from Sulzer Metaplas for example, at

automotive manufacturers/suppliers, tool manu-

facturers, grinding vendors and contract treatment

vendors as well as in decorative applications have

found their place in the industry. Please contact our

worldwide representatives directly or via internet.

Plasma PVD systems

For the MAXIT systems, Sulzer Metaplas is offering

system engineering according to customer require-

ments. Beyond this, Sulzer Metaplas is offering

qualified engineering for complex production

plants. The range of products includes complete

system families from the miniature compact

system for research and laboratory operation, up

to large-scale plants and special systems which are

suited for more comprehensive coating processes

of series manufactured and large parts. These

systems can be designed to handle the following:

batch weight up to 2,700 kg batch length up to 4,000 mm batch diameters up to 1,600 mm

Plasma heat treatment systems Plasma

Combination treatment systems

In line with the requirements and as demanded

by our customers, the IONIT and IONIT OX

systems are implemented as bell, pit or horizontal

type furnaces. Depending on the demanded

throughput, single systems, tandem systems or

multiple systems can be offered in all required sizes.

Systems implemented to date:

batch weight up to 30 tonnes batch length up to 22,000 mm batch diameter up to 4,000 mm

Forschung finden Turnkey-Lsungen von Sulzer

Metaplas in der Industrie, z.B. bei Automobilher-

stellern/Zulieferer, Werkzeugherstellern, Schlei-

fereien und Lohnbehandlern sowie in dekorativen

Anwendungsfllen ihren Platz.

Unsere weltweiten Vertretungen knnen schnell

und aktuell ber unsere Internetseiten abgerufen

werden.

Plasma-PVD-Anlagen

Bei den MAXIT-Anlagen bietet Sulzer Metaplas

spezielle nach Kundenwunsch konzipierte Anlagen-

technik. Darber hinaus bietet Sulzer Metaplas

qualifiziertes Engineering fr komplexe Produk-

tionssysteme. Das Lieferspektrum umfat komplette

Anlagenfamilien von der Mini-Kompaktanlage

fr den Forschungs- und Laborbetrieb bis hin zu

groen Anlagensystemen und Sonderanlagen, die

fr umfangreichere Beschichtungsvorgnge von

Serien und Groteilen geeignet sind.

Die Anlagen knnen ausgelegt werden:

bis 2.700 kg Chargengewicht bis 4.000 mm Chargenlnge bis 1.600 mm Chargendurchmesser

Plasma-Wrmebehandlungsanlagen

Plasma-Kombinationsbehandlungsanlagen

Den gestellten Anforderungen und Kundenwnschen

folgend sind die IONIT und IONIT OX-Anlagen

als Hauben-, Schacht- oder Kammerofenanlagen

ausgefhrt. Abhngig von den geforderten Kapa-

zitten knnen Singleanlagen, Tandemanlagen

oder Multianlagen in allen gewnschten Abmes-

sungen angeboten werden.

Bisher realisiert wurden Anlagen:

bis 30 Tonnen Chargengewicht bis 22.000 mm Chargenlnge bis 4.000 mm Chargendurchmesser

Competence in Plasma Surface Technology


26 VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GMBH

Hersteller von technologie- und kunden-

spezifischen Vakuum-Beschichtungssystemen

Metallisierungssysteme fr Kunststoffe, Glas,Keramik und Metalle

Hartstoffbeschichtungssysteme fr spanabhe-bende sowie Formwerkzeuge

Optikbeschichtungssysteme fr die fein-optische Vergtung im VIS, Anwendungen im

UV-Spektrum, astronomische Applikationen,

Spezialreflektoren und Filter

Batch- und Inlinesysteme fr die dekorativeHartstoffbeschichtung

Sondersysteme fr Plasmabehandlung, Oberflchenaktivierung, Wrmebehandlung,

Vakuumgieen

Labortechnik fr Forschungs- und Entwick-lungsarbeiten unter Nutzung verschiedener

Beschichtungsverfahren

Komponenten fr die Vakuumbeschichtungs-technik (Elektronenstrahlquellen, Ionenquellen,

Bogenquellen, Hohlkatodenplasmaquellen)

Beschichtungsleistungen: Muster- und Lohnbe-schichtungen im eigenen Technikum

VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GmbH

Manufacturer of customer oriented vacuum

coating systems and technologies

Metallization systems for plastics, glass, ceramics and metals

Hard material coating systems for metal-cutting and form tools

Optical coating systems for coatings in thevisible range, applications in the UV spectrum,

astronomical applications, special reflectors

and filters

Batch and inline systems for decorative hardmaterial coating

Special-purpose systems for plasma treatment,surface activation, heat treatment, vacuum

casting

Laboratory technology for research and develop-ment work using different coating processes

Components for vacuum coating technology(electron-beam sources, ion sources, arc plasma

sources, hollow-cathode plasma sources)

Coating services: Sample and contract coatingin our own pilot plant

Die intelligentere Art der BeschichtungThe smarter solution in coating


VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GMBH 27

VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GmbHBismarckstrasse 66D-01257 DresdenGermanyPhone +49 (0) 351 28 05 -0Fax +49 (0) 351 28 05 [email protected]

GeschftsfhrerManaging DirectorAlbrecht Riess; Klaus-Dieter Steinborn

GrndungsjahrYear of Foundation1991

MitarbeiterEmployees84

ZertifizierungCertificateDIN EN ISO 9001:2000

DREVA 600 Hartstoffbeschichtungssystem DREVA 600 Hard material coating systems

DREVA 1400 Optikbeschichtungssystem DREVA 1400 Optical coating system

Neue Generation vollautomatisierterMetallisierungsanlagen New generationof fully automated metallization plants

Zum Leistungspaket zhlen:

Technologische Systemlsungen Anwendungsspezifische, technische Umset-

zung

Schneller und qualifizierter Service sowieErsatzteilversorgung

Umfangreiche Anwenderschulung und techno-logisches Training

Die Grundausrstungen knnen Vakuumkammern

von 250 mm bis 2.800 mm Durchmesser umfassen.

Zum Leistungspaket zhlen die garantierten

technischen und technologischen Spitzenwerte,

hohe Produktivitt und Zuverlssigkeit der

Anlagen sowie ein schneller und qualifizierter

Service.

In unserer eigenen Forschungs- und Entwicklungs-

abteilung beschftigt sich ein Team hervorragend

ausgebildeter Wissenschaftler mit der stndigen

Neu- und Weiterentwicklung von vakuumtech-

nischen Erzeugnissen.

Unsere PVD-Hartstoffbeschichtungs-, Metallisier-

ungs-, Optik- und Sonderanlagen sind in allen

Bereichen der Wirtschaft einsetzbar.

Our service package comprises:

Technological system solutions Application-specific, technical implementation Quick and qualified customer service as well as

spare parts supply

Comprehensive technological and user training

The basic equipment can comprise vacuum

chambers of diameters from 250 to 2,800 mm.

Our performance package also includes approved

technical and technological peak values, a high-

productivity and reliability of the plants and a

fast and good service.

In our own research and development department

a team of excellently educated scientists are

permanently occupied with new and further

developments of vacuum engineering products.

Our PVD hard material coating, metallization,

optical and special vacuum plants can be used

in all branches of the economy.


28 LIEFERVERZEICHNIS/LIST OF SUPPLIERS

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VA

CU

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TEC

HN

IK D

RES

DEN

Gm

bH

Unternehmensprofil auf Seite Company profile on page 14 16 18 20 22 24 26

Anwendungen ApplicationsOberflchenfunktionen Surface functions

Abschirmung (EMV) shielding (EMC)

Antistatik antistatic

Benetzbarkeit (Reinigung, Entfettung, Aktivierung) wettability (cleaning, degreasing,activation)

Biovertrglichkeit bio-compatibility

Dekoration decoration

Elektrische Eigenschaften (Leiter, Nichtleiter) electrical properties (conduct./non-conduct.)

Korrosionsschutz corrosion protection

opt. Eigenschaften (z.B. Entspiegelung, Farbfilter) optical properties (e.g. demirroring, colour filter)

Permeationssperre permeation blocking (inhibition)

Reflexion von Wrmestrahlung reflection of thermal radiation

Verschleischutz wearing protection

Reibungsminderung friction reduction

Grundwerkstoffe Substrates

Glas glass

Halbleiter semiconductors

Keramiken ceramics

Kunststoffe plastics/synthetic materials

Leiterplatten printed circuits

Naturfasern natural fibre

Nichteisenmetalle non-ferrous metals

Papier paper

Stahl/Hartmetalle steel/hard alloys

Superlegierungen superalloys

Werkstckgeometrien Workpiece geometries

Band/Folie coil/foil strip

Faden/Draht thread/wire

Gewebe/Vliese woven & non-woven fabrics

Schttgut bulk material

Stckgut unit loads

Tafel plates/slabs

Schichtmaterialien Coating materials

amorphe Kohlenstoffe amorphous (non-crystalline) carbon

Keramiken ceramics

Metalle metals

Polymere polymers

Sonstige others


LIST OF SUPPLIERS/LIEFERVERZEICHNIS 29

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Unternehmensprofil auf Seite Company profile on page 14 16 18 20 22 24 26

Komponenten und Anlagen Components and PlantsGesamtanlagen fr: Complete plants for:

Plasma-tzen/-Aktivieren plasma etching/plasma activation

Plasma-CVD-Beschichtung plasma CVD-coating

Plasma-Diffusion (-Wrmebehandlung) plasma-diffusion (heat-treatment)

* Plasma-Borieren * plasma-treatment with boron

* Plasma-Carburieren (Aufkohlen) * plasma-carburizing

* Plasma-Nitrieren * plasma-nitriding

* Plasma-Oxidieren * plasma-oxidizing

* Plasma-Sterilisation * plasma-sterilisation

* Sonstige * others

Plasma-Polymerisation plasma polymerization

Plasma-Reinigung/-Entfettung plasma cleaning/degreasing

Plasma-PVD-Beschichtung plasma-PVD-coating

Sonstige others

Generatoren Generators

Vakuumkomponenten Vacuum components

Zubehr Beschichtungstechnik Supply for coating technology

Dienstleistungen Services

Anwendungsberatung Application consulting

Bemusterung Supply of samples

Lohnbehandlung/-beschichtung mittels: Job coating/surface treatment using:

Plasma-tzen/-Aktivieren plasma etching/plasma activation

Plasma-Diffusion (-Wrmebehandlung) plasma-diffusion (heat-treatment)

* Plasma-Borieren * plasma-treatment with boron

* Plasma-Carburieren (Aufkohlen) * plasma-carburizing

* Plasma-Nitrieren * plasma-nitriding

* Plasma-Oxidieren * plasma-oxidizing

* Plasma-Sterilisation * plasma-sterilisation

* Sonstige * others

Plasma-Polymerisation plasma polymerization

Plasma-Reinigung/-Entfettung plasma cleaning/-degreasing

Plasma-PVD-Beschichtung plasma-PVD-coating

Plasma-CVD-Beschichtung plasma-CVD-coating

Sonstige others

Oberflchen-und Dnnschichtanalytik Surface and thin-film analysis

QS-Beratung Quality assurance consulting

Schulung Training

Verfahrensentwicklung Process development


30 ADRESSEN/ADDRESSES

ALD Vacuum Technologies GmbHWilhelm-Rohn-Str- 3563450 HanauGermany

Phone +49 (0) 61 81 3 07-0Fax +49 (0) 61 81 3 07-32 90e-mail [email protected] http://www.ald-vt.de

CemeCon AGAdenauerstr. 20 B152146 WrselenGermany

Phone +49 (0) 24 05 44 70 - 160Fax +49 (0) 24 05 44 70 - 1 99e-mail: [email protected]: http://www.cemecon.de

DAS Dnnschicht Anlagen Systeme GmbH DresdenGostritzer Str. 61 - 6301217 DresdenGermany

Phone +49 (0) 3 51 8 71 86 88Fax +49 (0) 3 51 8 8 71 87 26e-mail [email protected] http://www.das-europe.com

ELTRO GmbHArnold-Sommerfeld-Ring 352499 BaesweilerGermany

Phone +49 (0) 24 01 80 97-0Fax +49 (0) 24 01 80 97-15e-mail [email protected] http://www.eltropuls.de

IKOS GmbH BeschichtungstechnologieIndustriestr. 363811 StockstadtGermany

Phone +49 (0) 60 27 40 10 59Fax +49 (0) 60 27 40 10 71e-mail [email protected] http://www.ikos-dynamant.de

iplas Innovative Plasma Systems GmbHLangbaurghstr. 1053842 TroisdorfGermany

Phone +49(0) 22 41 9 32 68-0Fax +49(0) 22 41 9 32 68-15e-mail [email protected] http://www.cyrannus.de

Oerlikon Balzers Coating Germany GmbHAm Ockenheimer Graben 4155411 BingenGermany

Phone +49 (0) 67 21 79-30Fax +49 (0) 67 21 23-74e-mail [email protected] http://www.balzers.de

Pfeiffer Vacuum GmbHBerliner Str. 4335614 AsslarGermany

Phone +49 (0) 64 41 8 02-437Fax +49 (0) 64 41 8 02-500e-mail [email protected] http://www.pfeiffer-vacuum.net

PINK GmbH VakuumtechnikAm Kessler 697877 WertheimGermany

Phone +49 (0) 93 42 9 19-0Fax +49 (0) 93 42 9 19-1 12e-mail [email protected] http://www.pink.de

PLASMA - finish GmbHBerliner Str. 126a16303 Schwedt/OderGermany

Phone +49 (0) 33 32 53 89-28/20Fax +49 (0) 33 32 53 89-35e-mail [email protected] http://www.plasma-finish.com

AddressesAdressen


ADDRESS/ADRESSEN 31

PlaTeG GmbHIndustriestr. 1357076 SiegenGermany

Phone +49 (0)2 71 7 72 41-0Fax +49 (0)2 71 7 72 41-33e-mail [email protected] http://www.plateg.de

Platit AGMoosstr. 682540 GrenchenSwitzerland

Phone +41 32 6 54 26-00Fax +41 32 6 54 26-83e-mail [email protected] http://www.platit.com

pro-beam AG & Co. KGaABehringstr. 682152 PlaneggGermany

Phone +49 (0) 89 89 92 33-33Fax +49 (0) 89 89 92 33-11e-mail [email protected] http://www.pro-beam.de

PVA TePla AGHans-Riedl-Str. 585622 FeldkirchenGermany

Phone +49 (0) 89 9 05 03-0Fax +49 (0) 89 9 05 03-1 00e-mail [email protected] http://www.pvatepla.com

Rbig GmbH & Co. KGSchafwiesenstr. 564600 WelsAustria

Phone +43 72 42 2 93 83-0Fax +43 72 42 2 93 83-9e-mail [email protected] http://www.rubig.com

SULZER METAPLASAm Bttcherberg 30-3851427 Bergisch GladbachGermany

Phone +49 (0) 22 04 2 99-0Fax +49 (0) 22 04 2 99-2 66e-mail [email protected] http://www.sulzermetco.com

VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GmbHBismarckstr. 6601257 DresdenGermany

Phone +49 (0) 3 51 28 05-0Fax +49 (0) 3 51 28 05-2 40e-mail [email protected] http://www.vtd.de

http://www.vtd-dresden.com


32 NACHWORT/EPILOGUE

Seit 1994 ist die Industrielle Plasma-Oberflchen-

technik als Querschnitts- und Schlsseltechnologie

fester Bestandteil der Fachabteilung Oberflchen-

technik. Heute entfallen ca. ein Viertel der in der

Fachabteilung Oberflchentechnik engagierten

Firmen auf die Industrielle Plasma-Oberflchen-

technik.

In der Fachabteilung Oberflchentechnik sind

77 Hersteller bzw. Anbieter von Komponenten,

Systemen und Anlagen der Oberflchentechnik

organisiert. Die Branche ist insgesamt stark

mittelstndisch geprgt bei einigen wenigen

im Groanlagenbau dominierenden System-

anbietern.

Den thematischen Schwerpunkt der Fachabteilung

bildet der gesamte Bereich der handwerklichen

und industriellen Lackiertechnik, einschlielich

Vorbehandlung und Trocknung.

Die VDMA Industrielle Plasma-Oberflchentechnik

ist als verbandlich organisierte Interessenvertretung

der Branche seit 1995 etabliert. Die Aktivitten

sind auf die Interessen der Industrie ausgerichtet.

Im Vordergrund steht dabei die Erschlieung

neuer Kundenbrachen fr bereits etablierte und

erfolgreich in der industriellen Produktion einge-

setzte Verfahren. Zur Frderung der Industriellen

Plasma-Oberflchentechnik ist der Arbeitskreis

mit Forschungsvereinigungen, Foren und Fach-

verbnden des VDMA vernetzt. Mit gemeinschaft-

licher ffentlichkeitsarbeit hat der Arbeitskreis

die Branchenidentitt der Industriellen Plasma-

Oberflchentechnik erfolgreich aufgebaut und

die Wahrnehmung in Industrie, Forschung und

Politik erreicht.

Since 1994, Industrial Plasma-Surface Treatment

Technology, as a key technology spanning all

sectors, has been a fixed part of the specialist

category, Surface Treatment. About a fourth of

companies involved in the specialised category,

Surface Treatment, are involved in Industrial

Plasma-Surface Treatment.

In the Surface Treatment Group, 77 manufacturers

of suppliers of components, systems and plants

are organised. Altogether, the sector is

characterised to a great degree by medium-sized

businesses and in a few cases system suppliers

dominate in major plant constructions.

The VDMA Plasma-Surface Technology section,

which is well-established in the branch since

1995, is an associated organised representation

of interests. The activities are focussed on the

interests of the industry. In the foreground, the

developing of new branches of trade is centred for

already successfully inserted procedures within

the industrial production. For advancement of

Industrial Plasma-Surface Technology the

working group is connected with research

aggregations, forums and other specialised

departments within the VDMA. Through

common public relations the working group has

established the identity of Industrial Plasma-

Surface Technology successfully and has reached

the perception in industry, policy and research.

EpilogueNachwort

Marion Schdlich

Dr. Martin Riester


ImprintImpressum

Copyright by

Herausgeber/Editor

Allgemeine Lufttechnik

Fachabteilung Oberflchentechnik

Lyoner Strae 18

60528 Frankfurt am Main

Germany

Telefon +49 69 6603-1291

Fax +49 69 6603-2291

E-Mail [email protected]

Internet www.vdma.org/ipo

www.vdma.org/oberflaeche

Redaktion/Editorial

Marion Schdlich

Fachabteilung Oberflchentechnik

Specialised Section for surface treatment

Layout

DesignStudio, VDMA

Satz und Druck

h. reuffurth gmbh

Mhlheim am Main

www.reuffurth.de

Stand: April 2007


VDMA

Oberflchentechnik

Lyoner Strae 18

60528 Frankfurt am Main

Contact

Dr. Martin Riester

Phone + 49 69 66 03-12 91

Fax + 49 69 66 03-22 91

E-Mail [email protected]

www.vdma.org/ipowww.vdma.org/oberflaeche Titel V

DM

A, D

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n S

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Vdma Oberflaechentechnik Industrielle Plasma Oberflaechentechnik Broschuere 2007

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