■ 型 式 Model

■ 仕 様 Specifi cations

❶ 形 状 Size

❷ 圧力制御範囲 Pressure Control Range

❸ 圧力レンジ (kPa)Pressure Range (kPa)

❹ センサ機種／センサ精度／圧力レンジApplied Sensor/ Sensor Sensitivity/ Pressure Range

❺ 制御電圧仕様Control Voltage 出力電圧は下記同様 Voltage output is as listed below.

注）負圧の標準制御範囲は -67 kPaまでです。

Note:Typical vacuum pressure control range is up to -67 kPa.

● 一般仕様　General Specifi cations ● APU仕様　APU Specifi cations

制御精度

制御電圧動作電源

使用気体

センサ精度

Control AccuracyControl VoltagePower Supply

Test Air Supply

Sensor Sensitivity

絶対精度：使用センサによる繰返再現性：±0.1 ％ F.S.❺制御電圧仕様参照DC±15 V 0.2 A

クリーンで変動しないドライエア推奨条件： JIS B 8392-1: 2012による 圧縮空気の清浄等級 1, 3, 1

SX-100D（差圧）センサ耐圧 ：50 kPaまで F.S.の 3倍 100 kPa以上 F.S.の 2倍 受圧部材質 ：黄銅（BSB）直線性 ：±0.15 % F.S.温度特性 ：ゼロシフト±0.03 % F.S./ ℃ スパンシフト±0.03 % F.S./ ℃圧力レンジ ：5～ 990 kPaSX-34（直圧）センサ耐圧 ：F.S.の 2倍ただし、700 kPa以上のレンジは 1.5倍

受圧部材質 ：黄銅（BSB）直線性 ：±1.0 % F.S.温度特性 ：ゼロシフト±0.1 % F.S./ ℃

スパンシフト±0.1 % F.S./ ℃圧力レンジ ：20～ 840 kPa

ただし、2 kPa～ 10 kPaの圧力レンジはありません。負圧は -100 kPaのみ、その他は正圧です。

Absolute sensitivity: ConditionalRepeatability:±0.1 ％ F.S.Refer to ❺MODEL chart±15 VDC 0.2 A

Use clean and stable air pressure Recommended conditions according to ISO 8573-1 : 2010 Compressed air purity classes 1, 3, 1

SX-100D (Differential Pressure)Overpressure: Up to 50 kPa 3x of F.S. 100 kPa or higher 2x of F.S.Material in Contact with Pressure Media: Brass (BSB)Linearity:±0.15 % F.S.Temperature Coefficient: Zero Shift±0.03 % F.S./℃

Span Shift±0.03 % F.S./ ℃Pressure Range: 5～ 990 kPaSX-34 (Gauge Pressure)Overpressure: 2x of F.S.

700 kPa or higher 1.5xMaterial in Contact with Pressure Media: Brass（BSB）Linearity:±1.0 % F.S.Temperature Coefficient: Zero Shift±0.1 % F.S./ ℃ Span Shift±0.1 % F.S./ ℃Pressure Range: 20～ 840 kPa

There is no pressure range of 2 kPa～ 10 kPa.Vacuum pressure range is limited to -100 kPa.

Rc1/8

Rc1/8

Rc1/8

Rc1/4

Rc3/8

Rc3/8

Rc1

Rc3/4

Rc3/4

Rc1・1/2

Rc1・1/2

Rc2

Rc2

3方弁3 port valve

2方弁2 port valve

○

○

○

○

○

○

○

○

－

○

－

○

－

○

○

○

○

○

○

○

－

－

－

－

－

－

○

○

○

○

○

○

○

－

○

－

○

－

○

1

3

5

180

240

280

500

500

－

1700

－

2500

－

0.4

0.4

0.7

9

23

55

130

－

130

－

1500

－

2200

機 種Model

APU-508W

APU-514W

APU-520W

APU-70W

APU-90W

APU-120W

APU-130W

APU-130P

APU-130V

APU-220P

APU-220V

APU-300P

APU-300V

弁構造Valve Type

接続口径Joint Size

(inch)P W V

流 量　Flow Rate(L/ min)正 圧

Positive Pressure負 圧

Negative Pressure

508W P

P

1

1

1

2

2

3

3

4

4

5

5

25

102050

100200500700990

V

V

W

W

514W520W

70W90W

120W130W130P130V220P220V300P300V

□ 50 mm正圧制御

Positive Pressure Control

±0.15 % F.S. 5～ 990 kPa

片圧 0～ 1 V, 0～ -1 V

Gauge Pressure 0～ 1 V, 0～ -1 V

連成圧 ±1 V

Compound Pressure ±1 V

片圧 0～ 10 V, 0～ -10 V

Gauge Pressure 0～ 10 V, 0～ -10 V

連成圧 ±10 V

Compound Pressure ±10 V

片圧または連成圧 0～ 5 V～ 10 V（出力電圧　±5 V）

Gauge or Compound Pressure 0～ 5 V～ 10 V（Voltage Output　±5 V）

±1.0 % F.S. 20～ 840 kPaSX-100D

WP, WV, PP, VV

WP, WV, PP, VV

WW

WW

WP, WV, PP, VV

WP, WV, PP, VV

WW

WW

WW, WP, WV, PP, VV

WW, WP, WV, PP, VV

SX-34負圧制御

Negative Pressure Control

連成圧制御

Compound Pressure Control

○ 70 mm○ 90 mm○ 120 mm

○ 130 mm

○ 220 mm

○ 300 mm

記号 Number 記 号

Number

記号 Number

記 号

Number

記 号 Number形状 Size 圧力制御範囲

Pressure Control Range

センサ精度 Sensor Sensitivity 圧力レンジ Pressure Range

制御電圧仕様

Control Voltage

センサ機種 Applied Sensor

圧力制御範囲

Pressure Control Range

10.40.4

0.79

2355

130

130

1500

2200

35

180240280

500500

1700

2500

スーパー電空レギュレータ

APU series

Regulator

High Accuracy Electric Pneumatic Regulator

SX-100D APC-VSX-34

負圧 Negative Pressure 正圧 Positive Pressure

●Pressure for APU primary pressure is the maximum flow rate when positive pressure is F.S. +100 kPa or higher, or when negative pressure is vacuum drawing of -90 kPa or lower（Varies depending on the measurement environment）.

■流量特性データ Flow Rate Characteristics Data

APU-508WAPU-514WAPU-520WAPU-70WAPU-90WAPU-120WAPU-130WAPU-130PAPU-130VAPU-220PAPU-220VAPU-300PAPU-300V

2500 2000 100 10 1 10 100 2000 2500型式 Model1(L/ min)

制御再現性 ACCURACY ：±0.1 %応答性 QUICK RESPONSE ：0.5 s

■Feedback from external sensor instantly regulates pressure and flow rate.

■Capable of controlling pressure and flow rate by continuous voltage.

■An external sensor allows pressure monitoring just before the test piece.

■An external sensor enables ∆P control and constant differential pressure control.

■Various models available to control small to large flow volumes.■Various models available for a variety of pressure applications.

■外部圧力センサからのフィードバックにより瞬時に圧力・流量をコントロール

■電圧制御により連続的に圧力・流量をコントロール■外部圧力センサによりワーク直前の圧力監視可能■ΔP制御や定差圧制御を可能とした外部圧力センサ■小流量から大流量まで幅広いラインアップ■正圧、負圧、連成圧バリエーションに富んだラインアップ

●APUの一次圧に対して、それぞれ正圧：F.S.＋100 kPa以上をかけた時、負圧：-90 kPa以下に真空引きした時に流れる最大流量です　（測定環境により異なります）。

10336-K-004-14Rev. July. 20 Printed July. 20 0.5KN Printed in Japan

仕様は改良のため通知なく変更される場合があります。Specifications may change without notice for product improvement.

空圧源Air Supply

差圧センサDifferential PressureSensor

流量計Flow Meter

流量計表示Flow Rate Indicator

バルブValves

APC-V

空圧源Air Supply

圧力センサex. SX-34Pressure Sensor

エアシリンダAir cylinder

電磁弁 Solenoid Valve

APC-V

空圧源Air Supply

圧力センサex. SX-34PressureSensor

圧力スイッチPressureSwitch

APC-V

空圧源Air Supply

差圧センサDifferential PressureSensor

流量計Flow Meter

流量計表示Flow Rate Indicator

バルブValves

APC-V

空圧源Air Supply

圧力センサex. SX-34Pressure Sensor

エアシリンダAir cylinder

電磁弁 Solenoid Valve

APC-V

空圧源Air Supply

圧力センサex. SX-34PressureSensor

圧力スイッチPressureSwitch

APC-V

空圧源Air Supply プローブカード

Probe Card

ウェハーWafer

ステージStage

圧力センサex.SX-100DPressure Sensor

豊富なアプリケーションVarious Applications

電気信号で圧力を自由自在にコントロールCapable of Freely Controlling Pressure Through Electronic Signals.

APU-508WAPU-514WAPU-520W

APU-70W

APU-90W

APU-120W

APU-130W

APC-V-①

■ APUコントローラ　APU Controller

APU-220P・V

APU-300P・V

APU-130P・V

APU-508W φ0.8

φ3.5

φ5

φ7

φ12

APU-220P φ17APU-220V φ33

φ46

φ17

APU-514W φ1.4

APU-520W φ2.0

P : 20, 50, 100, 200, 500, 990V : -20, -50, -100(-67)W: 0～±20, ±50, ±100, ±200, ±500, ±990

P : 0～ 50, 100, 200, 500, 990V : 0～ -50, -100(-67)W: 0～±50, ±100, ±200, ±500, ±990

P : 0～ 20, 50, 100, 200, 500, 700V : 0～ -20, -50, -100(-67)W: 0～±20, ±50, ±100, ±200, ±500, ±700

P : 0～ 5, 10, 20, 50, 100, 200, 500V : 0～ -5, -10, -20, -50, -100(-67)W: 0～±5, ±10, ±20, ±50, ±100, ±200, ±500

P : 0～ 5, 10, 20, 50, 100, 200V : 0～ -5, -10, -20, -50, -100(-67)W: 0～±5, ±10, ±20, ±50, ±100, ±200

P: 0～ 10, 20, 50, 100V: 0～ -10, -20, -50, -100(-67)

P: 0～ 10, 20, 50, 100V: 0～ -10, -20, -50, -100(-67)

P: 0～ 10, 20, 50, 100V: 0～ -10, -20, -50, -100(-67)

P : 0～ 5, 10, 20, 50, 100, 200 V : 0～ -5, -10, -20, -50, -100(-67)W: 0～±5, ±10, ±20, ±50, ±100, ±200P : 0～ 5, 10, 20, 50, 100, 200V : 0～ -5, -10, -20, -50, -100(-67)W: 0～±5, ±10, ±20, ±50, ±100, ±200

●圧力センサの校正器●基準圧力表示器●基準圧発生器●Pressure sensor calibrator●Standard pressure indicator●Standard pressure generator

●シリコンウェハー研磨・エアリークテスタの空圧源●流量計の空圧源・成形機の圧力制御●各種測定機の空圧源●Air supply for silicon wafer polishing●Air supply for air leak testers●Air supply for fl ow meters●Pressure control for molding apparatus●Air supply for various testing equipment

●低圧鋳造圧力制御　　●液晶パネル封止装置●機能品バルブ流量測定（自動車部品）●キャニスタ流量測定●Pressure control for low pressure die-casting●LCD panel sealing devices●Flow rate measurement for function valves

(Motor vehicle parts)●Flow rate measurement for canisters

●電源、可変設定器、デジタル表示器、切替スイッチ等を一つの箱に収め、パネルマウントで装置に組込める形にまとめたコントローラ

●電源 AC100 V 0.5 A●表示器 APC-V-1 0～±1.0000

APC-V-10 0～±10.000●設定器切替スイッチ　6接点ロータリスイッチ

●A controller which houses a power supply, variable setter, digital display unit, changeover switch, etc. in one unit with a design which can be fi tted to equipment via panel mount.

●Power supply 100 VAC 0.5 A● Indicator APC-V-1 0～±1.0000

APC-V-10 0～±10.000●Setter changeover switch 6 position rotary

switch

●機能品バルブ流量測定（自動車部品）●フィルム製品、紙製品のテンションと厚さを　コントロール●Flow rate measurement for function valves

(Motor vehicle parts)●Tension and Thickness Control for Film and

Paper

●機能品バルブ流量測定（自動車部品）●キャニスタ流量測定●微圧流量測定●ガスメータ流量検査、ガス器具流量検査●エアリークテスタの空圧源●流量計の空圧源●Flow rate measurement for function valves

(Motor vehicle parts)●Flow rate measurement for canisters●Micro-pressure fl ow rate measurement●Gas Meter Flow Inspection, Gas Appliance

Flow Inspection●Air supply for air leak testers●Air supply for fl ow meters

外形寸法 Dimensions■ 高精度流量測定（定差圧コントロール）測定物両端の差圧を一定にコントロールしながら流量を測定する場合

■ High Accuracy Flow Rate Testing(Constant Differential Pressure Control)Applied to maintain differential pressure on either end of the test parts while conducting fl ow testing, for instance.

■ 高精度荷重コントロール荷重・加圧管理をしたい場合

■ High Accuracy Load ControlApplied when managing load/ pressure, for instance.

■ ウェハーテストのプロービング

■ Wafer test probing

■ 各種センサ性能試験、各種センサの総合検定に1.圧力センサ・荷重センサ2.圧力計・圧力スイッチ

■ Various Sensor Performance Testing/ Various Sensor Comprehensive Inspections1. Pressure sensor/ load sensor2. Pressure gauge/ pressure switch

圧力レンジ (kPa) Pressure Range (kPa) 用 途 Applicationオリフィス Orifi ce

※注）本体の周囲には作業性を考慮したスペースを確保してください。　　　負圧の標準制御範囲は -67 kPa までです。　　　標準仕様を超える圧力および流量レンジにつきましては、最寄りの営業所へお問い

合わせください。

Note: Please secure adequate working space around the equipment. Typical vacuum pressure control range is up to -67 kPa. Please contact your FUKUDA sales offi ce for all inquiries on custom specifi cations.

外形寸法 Dimensions 設定電圧仕様 Set Voltage Specifi cations 機 能 Function

例えば　Application Examples

例えば　Application Examples

例えば　Application Examples

●各種ノズル流量測定●各種バルブ開度測定●可変バルブ性能測定●Various nozzle fl ow rate testing●Various valve opening measurement●Various valve performance testing

●プレス圧コントロール●カシメ機●トルクコントロール●ロボットハンド握力●精密研磨用荷重コントロール●磁気テープ製造●各種線材巻き取り●スポット溶接

●基準器（水柱・水銀柱）のコントロール●第 2基準器 （高精度圧力計） のコントロール●各種圧力スイッチの動作チェックに●ヒステリシスの確認に

●応答速度調整によるオーバーシュート抑制●空気圧アクチュエータを高速高精度に制御●高価な電磁アクチュエータシステムの置きかえ

●Controls primary standard manometers (Water/ mercury column manometers)

●Controls secondary standard manometers (High precision digital manometer)

●Function verifi cation of various switches●Hysteresis validation

●Reducing an overshoot by adjusting response speeds.●High speed and high precision control of pneumatic actuators●Replacement of high cost electromagnetic actuator systems.

使用例　Applicable Parts・チェックバルブ・スロットルバルブ・電磁弁・比例制御弁・EGRバルブ

●Press pressure control●Caulking devices●Torque control●Force control for robotic hands●Load control for precision polishing●Magnetic tape manufacturing●Various coiling instruments●Spot welding

・Check Valves・Throttle Valves・Solenoid Valves・Proportional

Controlling Valves・EGR Valves

P

Q

開弁Open Valve

閉弁Closed Valve

チェックバルブ性能検査機Check Valve Function Inspector

N

P

シリンダ径Cylinder Diameter

φ100

φ50

荷重特性Load Characteristics

圧力スイッチ特性検査Pressure Switch Characteristics Inspection

t

P

ヒステリシスHysteresis

OFF

ON

ステップ入出力応答特性入力 : 電圧 10 V 　出力 : 圧力 10 kPa, 負荷流量 30 L /min

Step input/output transient responseInput:10 V Output: 10 kPa, 30 L/min

V,P

t

+F.S.

0

-F.S.

V,P

+F.S.

0

-F.S.

t

サイン波入出力特性サイン波入力0.4 Hz 遅延は 0.25 s

Sine wave input/outputInput 0.4 Hz sine wave, the output delay is 0.25 s

APUシリーズ出力特性例Examples of APU series Output Characteristics

チェックバルブ性能検査機Check Valve Function Inspector

荷重特性Load Characteristics

圧力スイッチ特性検査Pressure Switch Characteristics Inspection

過渡応答特性Transient Response Characteristics

■ステップ入力に対して

0.5 秒以内 に応答Response time to step input is within 0.5 s.

■入力波形に追従する圧力を出力可能Output pressure can follow the input waveform.

記号 Number

110

設定電圧 Set Voltage

±1 V±10 V

※ 型式より 1つ選択Select one type

過渡応答特性Transient Response Characteristics

t

P オーバーシュートありOvershoot

設定値Set Value

オーバーシュートなしNo Overshoot

特性は使用条件により異なります。Characteristics depend on condition of usage.